方案優勢

參照價值對照表

采用標準

國家相關標準

方法/原理/步驟

??? ? 【基本原理】

??????? 系統整體采用非接觸測量方式，通過在流水線中設置五個工位，分別實現硅片各個參數的檢測。其中，電阻率、厚度、TTV、P/N型號、Bow/Warp采用電渦流法和電容法實現非接觸自動檢測；輪廓尺寸采用機器視覺技術實現；隱裂、孔洞缺陷通過紅外視覺技術實現；表面臟污缺陷通過機器視覺技術并輔以特殊設計光源實現；線痕缺陷通過光針掃描技術實現。

?????? 【解決方案價值對照表】

儀器設備

　　該系統可對太陽能硅片的電性能、幾何尺寸、外觀缺陷進行全自動分揀，硅片生產企業應用此系統，替代以往人工檢測方式，大大提高了檢測效率，充分滿足了硅片使用廠家的質量要求，同時降低了該企業和下游企業的整體質控成本，提高了客戶在行業的競爭力。

　　???????????????????????????????????? 產品外觀????????????????????????????????硅片分檢

????? 【規格指標】

　　(1)能夠適應三種規格單晶硅片檢測需求，包括6吋(邊長125mm×125mm，對角線150mm)、6.5吋(邊長125mm×125mm，對角線165mm)、8吋(邊長156mm×156mm，對角線200mm)；

　　(2)能夠檢測硅片各種缺陷，包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP；

　　(3)檢測效率：3000片/小時；

　　(4)進料機構采用物料籃(花籃)自動進料，物料籃必須與設備配套使用，人工將物料籃安裝到設備進料口，安裝過程應簡單快捷；

　　(5)合格標準可設定，以適應區分不同的質量級別；

　　(6)具備硅片分選功能。一個分選模塊有6個分選工位，各工位的分選標準可以自定義，既可以將每個分選工位設置成一種缺陷的幾個等級(等級劃分由客戶自定義，但不可超過6級)，也可以將每個分選工位設置成幾種不同的缺陷(最多設置6種缺陷)。客戶可設置缺陷種類的優先級，若硅片上具有兩種或多種缺陷時按照客戶定義的優先級進行分選；如果認為6個分選工位不能滿足使用要求，則可以購買多臺分選模塊；

　　(7)上、下料及檢測過程中防止硅片碰傷與損壞，碎片率要求<0.1%；可以進行數據存儲、統計、分析、查詢及圖表繪制等。配備網絡接口，可以進行測量設備現場聯網統一控制管理。測量結果能夠打印輸出；

　　(8)設備具備安全防護功能，實現自動保護。配備急停裝置，發生緊急情況時可立即停止設備，防止意外傷害；

　　(9)采用模塊化設計，便于維護和維修。