紫外/臭氧清洗金屬類樣品表面污染
http://www.9999966666.com 來源：天美（中國）科學(xué)儀器有限公司 時(shí)間：2014-08-21
樣品表面碳?xì)浠衔镂廴臼请娮语@微鏡低加速電壓觀察經(jīng)常遇到的問題。樣品在較高的加速電壓下(如20kv)看似很干凈無電子束污染，但在5kv及以下時(shí)則會看到清晰的污染現(xiàn)象。
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