掃描電子顯微鏡
http://www.9999966666.com 來源：美信檢測 時間：2014-07-15
掃描電子顯微鏡/ X射線能譜儀（S E M & E D S）理論依據是電子與物質之間的相互作用。如圖1所示，當一束高能的入射電子轟擊物質表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征射線和連續譜X射線、背散射電子、以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。原則上講，利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息， 如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。 S E M / E D S正是根據上述不同信息產生的機理，對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關物質微觀形貌的信息，對x射線的采集，可得到物質化學成分的信息。
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