電真空器件的氣密性檢測時會受到很多因素的影響，溫度、臨時密封材料(酒精、真空封泥、橡膠件)和設備材料吸附等因素會帶來的電真空器件的氣密性檢測的測量誤差。

　　1、溫度

　　環境溫度對漏孔的漏率有很大的影響，工件溫度與室內溫度一致時進行檢漏效果最佳。溫度對于漏孔幾何尺寸和氣體特性的影響都將改變漏率大小。漏孔通道的幾何尺寸會隨溫度變化，同一個漏孔在不同的溫度下，其漏率值是不一樣的。按國家標準GB/T 12604.7-1995規定，標準漏率的溫度是25℃，否則，真空技術網認為就應該對漏率值作相應修正，公式如下：

　　Q=Q1T/T1 (12)

　　式中：T是標準漏率規定的溫度(25℃所對應熱力學溫度)，T1是被檢件的實際檢測熱力學溫度，Q是被檢件的標準漏率，Q1是被檢件在T1時的漏率。

　　2、臨時密封污染

　　被檢件與輔助模具、檢漏儀連接處，一般采用真空橡膠墊、橡膠圈、橡膠管、橡膠塞、酒精、真空封泥等進行密封處理。檢漏過程中，零部件需要多次與真空封泥接觸。真空封泥雖然可以被汽油溶解，但仍會有少量封泥進入被檢件，如密封狹小腔體，不易發現和取出，成為潛在放氣源，嚴重影響電真空器件的性能。酒精、汽油在高溫下分解成CO2、CO、CH4、H2和水蒸汽，其化合生成的有機物也是污染源。因此，檢漏完畢后一定要徹底檢查清理被檢件。

　　3、材料的吸附

　　真空管道、閥門、橡膠密封件屬于吸氣材料，使用時間越長，氦氣等雜質氣體吸附越多，檢漏時被吸入質譜室會產生表面沉積物等污染，導致氦本底過高，儀器不穩定，達不到檢漏精度要求易造成漏檢。因此，需經常進行除氦處理，清洗質譜室表面。