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三氯化硼

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  • 品　　牌：
  • 主要規格：
  • 用　　途：
  • （硅）半導體器件制造工藝中的擴散摻雜
    • 產品用途（1）高純三氯化硼主要用于（硅）半導體器件制造工藝中的擴散摻雜（在高溫下，經過分解生成硼雜質向硅中擴散，形成P型半導體）、離子注入（作為離子注入源，高能量作用下使硼原子離子化，產生硼離子束并注入硅形成P型淺結）、干法蝕刻（用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻）等過程；（2）可作為許多有機反應中的優良催化劑（如苯乙烯聚合反應中建議使用，可提高產量及效率）及醫藥工業的中間體；（3） 用于制備有機硼化合物的基礎材料：乙硼烷；硼酸酯等；用于制備無機硼化合物材料：硼纖維、BN纖維先驅體、BN坩鍋等；用于制備硼化物粉末：高純硼粉（無定型及結晶型）、BN、BC4、TiB2超細粉；用于CVD涂層及鍍膜工藝：涂覆B、BC4、BN、TiB2等保護涂層及膜；用作光導纖維的基礎材料；此外還可用于制造太陽能電池元件等工藝過程中；環氧樹脂固化劑；碳纖維石墨化的滲硼工藝。（4）還可用于金屬冶煉如鋁、鎂、鋅、銅合金的提純過程（可脫除熔融金屬中的氮化物、碳化物和氧化物。用三氯化硼氣體處理熔化的鋁，可使鋁鑄件的性能得到改善。）（5）用作鋁、鐵、鋅、錳、鎢、蒙乃爾等合金的焊劑。（6）用于撲滅熱處理爐中的Mg火。（7）高能燃料及火箭推進劑中，三氯化硼作為硼源以提高BTU值。

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