材質 蝕刻氣體 " 鋁（Al） 鉻（Cr） 鉬（Mo） 鉑（Pr） 聚硅 硅（Si） 鎢（W）" " 氯硅烷（SiCl4）+四氯化碳（CCl4）+（氬、氮） 四氯化碳（CCl4）+氧、四氯化碳（CCl4）+空氣 二氟二氯化碳（CCl2F2）+氧、四氟化碳（CF4）+氧 三氟三氯乙烷（C2Cl3F3）+氧、四氟化碳（CF4）+氧 四氟化碳（CF4）+氧、乙烷（C2H6）+氯 四氟化碳（CF4）+氧 四氟化碳（CF4）+氧"
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