檢測認證人脈交流通訊錄
- 膜的種類 混合氣組成 生成方法
" 半導體膜
絕緣膜
導體膜" " 硅烷(SiH4)+氫
二氯二氫硅(SiH2Cl2)+氫
氯硅烷(SiCl4)+氫
硅烷(SiH4)+甲烷(CH4)
硅烷(SiH4)+氧
硅烷(SiH4)+氧+磷烷(PH3)
硅烷(SiH4)+氧+磷烷(PH3)+乙硼烷(B2H6)
硅烷(SiH4)+氧化亞氮(N2O)+磷烷(PH3)
六氟化鎢(WF6)+氫
六氟化鉬(MoCl6)+氫" " CVD
CVD
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離子注入CVD
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離子注入CVD
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