檢測認證人脈交流通訊錄
- 分 類 氣 體 名 稱
單質氣體 Ar、H2、O2、He、N2、Cl2
化合物氣體 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、SiF4、SF6、HCl、H2S、NH3、GeH4、CF4、C2F6、C2F8、C5F12
混合物氣體 ①SiH4+稀釋氣(Ar、He、H2、N2)②PH3+稀釋氣(Ar、He、H2、N2)
③AsH3+稀釋氣(Ar、He、H2、N2)④B2H6+稀釋氣(Ar、He、H2、N2)
⑤HCl +稀釋氣(Ar、He、O2、N2)⑥H2S+稀釋氣(Ar、He、H2、N2)
⑦NH3+稀釋氣(Ar、He、H2、N2)⑧Cl2+稀釋氣(Ar、He、N2)
⑨CO+ SF6 ⑩H2Se+稀釋氣(Ar、He、H2、N2)
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