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電子行業用混合氣體

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  • 電子行業
    • 分  類 氣    體    名    稱 單質氣體 Ar、H2、O2、He、N2、Cl2 化合物氣體 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、SiF4、SF6、HCl、H2S、NH3、GeH4、CF4、C2F6、C2F8、C5F12 混合物氣體 ①SiH4+稀釋氣（Ar、He、H2、N2）②PH3+稀釋氣（Ar、He、H2、N2） ③AsH3+稀釋氣（Ar、He、H2、N2）④B2H6+稀釋氣（Ar、He、H2、N2） ⑤HCl +稀釋氣（Ar、He、O2、N2）⑥H2S+稀釋氣（Ar、He、H2、N2） ⑦NH3+稀釋氣（Ar、He、H2、N2）⑧Cl2+稀釋氣（Ar、He、N2） ⑨CO+ SF6                                 ⑩H2Se+稀釋氣（Ar、He、H2、N2）
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    唐剛

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