99.999% Vapor Phase Impurities 氣相雜質 Contaminants 雜質 Specifications (ppmv) 規格 CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <4.0ppmv CO Carbon Monoxide一氧化碳 <0.5ppmv CH4 Methane甲烷 <0.1ppmv N2 Nitrogen氮氣 <2.0ppmv O2 Oxygen氧氣 <1.0ppmv ">

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氯氣

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  • 品　　牌：
  • 主要規格：
  • GB/T 18994-2003
  • 用　　途：
  • 半導體生產中等離子刻蝕鋁和其它金屬層。氯化多種有機化學品。
    • Chlorine 氯氣(Cl2) Total Purity純度：>99.999% Vapor Phase Impurities 氣相雜質 Contaminants 雜質 Specifications (ppmv) 規格 CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <4.0ppmv CO Carbon Monoxide一氧化碳 <0.5ppmv CH4 Methane甲烷 <0.1ppmv N2 Nitrogen氮氣 <2.0ppmv O2 Oxygen氧氣 <1.0ppmv
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