99.999% Vapor Phase Impurities 氣相雜質 Contaminants 雜質 Specifications (ppmv) 規(guī)格 O2+Ar Oxygen + Argon氧氣+氬氣 <1.0ppmv N2 Nitrogen氮氣 <2.0ppmv CO Carbon Monoxide一氧化碳 <1.0ppmv CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <1.0ppmv THC Total Hy">
檢測認證人脈交流通訊錄
氯化氫
- 主要規(guī)格:
- GB/T24469---2009
- 用 途:
- 環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)標準氣體成分;準分子激光氣成分?;瘜W反應中的催化劑。半導體生產:外延生長之前腐蝕硅片;清洗CVD反應器。
- Chloride氯化氫(HCl)
Total Purity純度:>99.999%
Vapor Phase Impurities
氣相雜質
Contaminants
雜質 Specifications (ppmv)
規(guī)格
O2+Ar Oxygen + Argon氧氣+氬氣 <1.0ppmv
N2 Nitrogen氮氣 <2.0ppmv
CO Carbon Monoxide一氧化碳 <1.0ppmv
CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <1.0ppmv
THC Total Hydrocarbon碳氫化合物 <1.0ppmv
H2O Moisture水 <1.0ppmv
Cd Cadmium鎘 <0.01ppmw
Ca Calcium鈣 <0.01ppmw
Cr Chromium鉻 <0.05ppmw
Co Cobalt鈷 <0.01ppmw
Cu Copper銅 <0.01ppmw
Pb Lead鉛 <0.01ppmw
Fe Iron鐵 <0.1ppmw
Mg Magnesium鎂 <0.01ppmw
Mn Manganese錳 <0.01ppmw
Ni Nickel鎳 <0.05ppmw
K Potassium鉀 <0.01ppmw
Na Sodium鈉 <0.01ppmw
Zn Zinc鋅 <0.01ppmw
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