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氯化氫

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  • 品  牌:
  • 主要規(guī)格:
  • GB/T24469---2009
  • 用  途:
  • 環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)標準氣體成分;準分子激光氣成分?;瘜W反應中的催化劑。半導體生產:外延生長之前腐蝕硅片;清洗CVD反應器。
    • Chloride氯化氫(HCl) Total Purity純度:>99.999% Vapor Phase Impurities 氣相雜質 Contaminants 雜質 Specifications (ppmv) 規(guī)格 O2+Ar Oxygen + Argon氧氣+氬氣 <1.0ppmv N2 Nitrogen氮氣 <2.0ppmv CO Carbon Monoxide一氧化碳 <1.0ppmv CO2 Carbon Dioxide二氧化碳 <1.0ppmv THC Total Hydrocarbon碳氫化合物 <1.0ppmv H2O Moisture水 <1.0ppmv Cd Cadmium鎘 <0.01ppmw Ca Calcium鈣 <0.01ppmw Cr Chromium鉻 <0.05ppmw Co Cobalt鈷 <0.01ppmw Cu Copper銅 <0.01ppmw Pb Lead鉛 <0.01ppmw Fe Iron鐵 <0.1ppmw Mg Magnesium鎂 <0.01ppmw Mn Manganese錳 <0.01ppmw Ni Nickel鎳 <0.05ppmw K Potassium鉀 <0.01ppmw Na Sodium鈉 <0.01ppmw Zn Zinc鋅 <0.01ppmw
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    唐剛

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