檢測認證人脈交流通訊錄
供應熱式液體流量計、液體質量流量計、液體流量計
- 主要規格:
- 程比: P2000i系列:50:1(2%-100%滿量程)
- 商品簡介:
• 壓電式控制閥
• 金屬密封結構
• 響應時間快
• 設計緊湊
• 316L/316SS不銹鋼結構
• 高精度達± 1%
LF-01M液體質量流量控制器被設計用于要求對小流量液體進行快速、精確控制的領域。其簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨特的熱式測量系統提供精確的測量,同時液體溫度上升小于5度。高級的控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體 進行 快速、穩定的控制。 P2000i系列同時也包括有一個液體質量流量計,用于那些不需要進行流量控制的場合。
D2000i系列液體質量流量控制器被設計用于要求對液體快速、精確控制的半導體制造工藝。數字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小于1秒。潔凈空間內的裝配工藝和全金屬密封結構確保(高純度和泄漏完整性)。獨特的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量,同時液體溫度僅上升5度,此外,D2000i的簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
液體流量計和控制器技術參數
流量范圍 : 液體流量控制器是以異丙醇(IPA)來標定的,在測量其它液體介質時需要乘以一個校正系數,具體請參考表一
響應時間 : P2000i系列 : 2s( 設定點的2%之內 )
D2000i系列:<1s( 流量的5%之內 )
精度和線性 :± 1%滿量程(P2000i系列);±1%讀數(D2000i系列)
重復性 : P2000i系列:<±0.2%滿量程(任意連續溫度下)
D2000i系列:<±0.2%讀數
量程比: P2000i系列:50:1(2%-100%滿量程)
D2000i系列:20:1(5%-100%滿量程)
最大操作溫度 : 40℃(104℉)
最大操作壓力: 125PSIG
溫度系數 :< 0.1%/℃
>設定點輸入 /流量輸出信號 : 0-5VDC/0-5VDC(輸出流量信號時:需最小2KΩ電阻)
供電電源 :﹢ 15VDC±10%(電流消耗<200mADC時)
泄露率 : 1х10 -9 atm.cc/s He
預熱時間: 10分鐘(P2000i系列);20分鐘(D2000i系列)
電氣連接 : 9針D型
入口 /出口過程連接 : 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制閥 :壓電式常開
內置容積 :< 0.71ml(P2000i系列);<1ml (D2000i系列)
重 量 :≤ 0.68Kg
結構材質
主體: 316LSS
傳感器組件 : 316LSS
閥構成部件 : 316LSS(D2000i系列);302SS和316LSS(P2000i系列)
“ O”型環:316LSS
表 一
IPA 流量范圍(CCM) 液體介質 校正系數
0.003-0.14
0.008-0.40
0.020-1.00
0.070-3.50
0.150-7.50
0.220-11.0 CupraSelect 1.164
己烷 1.492
辛烷 1.532
OMCTS 1.927
TDEAT 1.258
TMP 1.357
四乙基原硅酸鹽 1.156
TMB 1.413
水 0.492
訂貨時須提供:
1、產品型號
2、設定點輸入/流量信號輸出
3、接口尺寸和類型
4、流量范圍
5、介質(液體類型)
6、工作溫度
7、入口壓力P1
8、出口壓力P2(流量計無須提供)
9、其它要求
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