檢測認證人脈交流通訊錄
- 質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。 質量流量的單位規定為: SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分) 標準狀態規定為: 溫度 ---273.15K ( 0℃ ); 氣壓 —- 101325 Pa (760mm Hg) F.S (Full Scale): 滿量程值 功能 流量計/控制器 基本型號 LF-400 滿量程流量范圍(N2) SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30，50，100，200 精度(％F.S) ±1(≤15SLM) ±1.5(＞15SLM) 控制閥動作型式 常閉式 線性(％F.S.) ±0.5～1(≤15SLM) ±2％(＞15SLM.) 重復精度(％F.S.) ±0.2 響應時間(sec) ≤1 流量輸出信號 0-+5V,4-20MA 流量設定信號 0-+5V,4-20MA 電器接頭 DB15 pin(接頭),DB14 pin(接頭),DB9 pin(接頭) 工作環境溫度 (℃) 5～45 工作壓差 (MPa) 0.05～0.5 漏率 SCCSHe 1×10-9 最大耐壓 3MPa,10MPa 介質接觸材質 304，316，316L 密封材料 氟橡膠，硅橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯,金屬密封 接頭尺寸 VCR 1/4”，1/2” Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm 電源要求 +15V,50mA;-15V,200mA 重量 1.2KG
