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微機械加速度計MS9010.D

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MEMS加速度計MS9010 Colibrys MS9010系列是一個電容式MEMS加速度計，它是由一個立體微加工工藝支撐的硅元件，一個低功耗ASIC專用信號處理器和一個存儲補償值的微控制器以及一個溫度傳感器等元件組成。該產品是一個低功耗的、校準的、功能強大和性能穩定的產品，其電子配置中帶有一個電源重置以防止電壓不穩的全保護裝置。應用范圍：特點： • 振動測量 • 地震測量 • 機器人技術 • 碰撞檢測 • 數據記錄儀 • 鉆探 • 傾斜測量運輸 • 優異的偏差穩定性 • 環境性能好 • 集成溫度傳感器 • 低成本、低電壓模擬輸出性能參數：工作特性量程 ±10 g 封裝 LCC20 8.9mm×8.9mm 偏差標定 <50 mg 48h偏差穩定性 [1] 0.25 mg 年偏差穩定性[2] 1.5 (<5) mg 上/掉電重復性 <0.75 mg 偏差溫度系數[3] 0.5 mg/℃ ±2 mg/℃ 比例因子，靈敏度（K1） 200±2 mV/g 年比例因子穩定性 300 (< 1000) ppm 比例因子溫度系數 100 ppm/℃ -50 / 250 （最小/最大值）輸入軸向誤差（Kp,Ko） <10 mrad(最大值) 1 %(最大值) 分辨率/閾值 (@ 1Hz) < 0.6 mg(最大值) 非線性度 <0.9 % FS（最大值） <0.09 g(最大值) 帶寬[4 ] 0~≥100 Hz 白噪聲頻譜密度 18 µV/ hz½ 24 最大值共振頻率 3.7 kHz 環境特性運行溫度 -55°C to +125°C 極限溫度 -67℉~255℉ 可靠性 MIL-HDBK-217，等級二抗沖擊 10,000g(0.2ms,1/2 sin,沖擊作用于每一軸 o,p,i) 恢復時間 <1ms(1000g, 1/2 sin 1ms,沖擊作用于 i軸) 振動 20g rms,20~2000Hz (隨機噪聲，o ,p,i每軸作用 30分鐘 ) LCC封裝符合 MIL-STD-833-E ESD靈敏度二級（符合 MIL-STD-883-E，方法一3015.7）注： - LCC應牢固固定在 PCB上，使用封裝底部作為軸向對準的參考面。電氣特性輸入電壓（VDD_VSS） 2.5~5.5 VDC.標定標準電壓為5.0VDC。輸出電壓范圍 0.5~4.5 VDC @ 5.0 VDC輸入電壓（ 0 g時為 2.5V±10mV）運行電流消耗 <400 µA @ 5.0 VDC 初始化及復位電流消耗 1400 µA @ 5.0 VDC，初始化階段（室溫下小于35 ms）復位本傳感器具有過電保護功能。當供電電源以 >380V/s的斜坡增大高于+0.46V時；或供電電源降至低于 2.2V時，傳感器自動重啟。恢復時間典型值為25ms（最大值35ms）。輸出電阻/負載最低 10kΩ,在 Vout (pin 32)和 VAGND(pin 38)最高 50pF,在 Vout(pin 32)；和最大 100 µF，在 VAGND(pin 38) 溫度特性 20℃時的輸出電壓 1.632 V 靈敏度 -11.77mV/℃ 長期穩定性 -0.03℃~+0.09℃ (1000h @ 150℃) 精度 ±5℃（-40℃~+125℃）物理特性重量 <1.5g 尺寸典型值：8.9×8.9×3.23 mm （0.35×0.35×0.127英寸）最大值：9.2×9.2×3.5 mm （0.354×0.354×0.138 英寸）除非另有說明，所有參數值在±20℃（±68℉）及 5.0VDC條件下測得。 [1]：按照IEEE 1293-1998 12.3.8的規定在20℃時測量48小時；測量前穩定1小時。 [2]：1年穩定性根據IEEE 528-2001定義為：上電/上電，存儲于-55℃和85℃，在-40℃~125℃之間T循環，-55℃~85℃掉電干擾、振動和沖擊。 [3]: 溫度系數指在-40~20℃范圍內，在此范圍內輸出表現典型值呈線性。 [4]：帶寬定義為靈敏度降低小于3dB的頻率范圍。

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朱文強

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