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主要用于高壓開關(guān)中滅弧，在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用。可在核粒子加速器及避雷器X射線設(shè)備中作為氣體的絕緣材料，利用SF6化學(xué)穩(wěn)定性好，對設(shè)備不腐蝕，在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑（操作溫度在－45～0℃之間），SF6對α-粒子有高度的停止能力，故在放射化學(xué)中也有應(yīng)用；也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。
用作電子設(shè)備和雷達(dá)波導(dǎo)的氣體絕緣體。
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