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檢測認證人脈交流通訊錄
藍寶石晶體定向儀
- 用 途：
- 針對單晶硅、藍寶石、砷化稼等多種晶體設計,主要用于晶圓片、晶棒的測量
- YX-2D6通用型配置如下：
（適用晶片、晶棒）
1、一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；111, 100, 211等角度；能測晶棒參考面110；OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度。
2、另一側GC測角儀能測Φ2---Φ6英寸晶圓片111, 100,211 等角度；能測晶棒Φ2---Φ6英寸,400㎜長晶棒端面 111, 100等角度。藍寶石A,C,R面等角度。
X 射 線 管 銅靶，陽極接地，強迫風冷
管 電 壓 30KVP，全壓合閘
管 電 流 0-5mA，連續可調
整機功率 交流220V 不大于0.3KW
綜合精度 ±30″
角度數字顯示 以度、分、秒顯示，最小讀數10″
計數器旋轉角度 2θ角-10°------+110°
樣品晶體旋轉角度 θ角-10°------+55°
計 數 管 蓋革計數管，工作電壓500-----1100V
時 間 常 數 分0.1、0.4、3秒三檔可調
保 護 高壓連鎖保護，溫度保護
狹 縫 4′、5′、6′
可測晶體重量 最重30KG的晶棒
可測晶體直徑 GA Φ2-------Φ6英寸晶圓片
可測晶棒長度 GC Φ2-------Φ6英寸,400毫米長晶棒
工 作 位 雙測角儀、雙工作臺
外型尺寸 1140mm×650mm×1030mm
儀器重量 200KG
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