檢測認證人脈交流通訊錄
- YX-2D6通用型配置如下： （適用晶片、晶棒） 1、一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；111, 100, 211等角度；能測晶棒參考面110；OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度。 2、另一側GC測角儀能測Φ2---Φ6英寸晶圓片111, 100,211 等角度；能測晶棒Φ2---Φ6英寸,400㎜長晶棒端面 111, 100等角度。藍寶石A,C,R面等角度。 X 射 線 管 銅靶，陽極接地，強迫風冷 管 電 壓 30KVP，全壓合閘 管 電 流 0-5mA，連續可調 整機功率 交流220V 不大于0.3KW 綜合精度 ±30″ 角度數字顯示 以度、分、秒顯示，最小讀數10″ 計數器旋轉角度 2θ角-10°------+110° 樣品晶體旋轉角度 θ角-10°------+55° 計 數 管 蓋革計數管，工作電壓500-----1100V 時 間 常 數 分0.1、0.4、3秒三檔可調 保 護 高壓連鎖保護，溫度保護 狹 縫 4′、5′、6′ 可測晶體重量 最重30KG的晶棒 可測晶體直徑 GA Φ2-------Φ6英寸晶圓片 可測晶棒長度 GC Φ2-------Φ6英寸,400毫米長晶棒 工 作 位 雙測角儀、雙工作臺 外型尺寸 1140mm×650mm×1030mm 儀器重量 200KG
