檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 設(shè)計(jì)特點(diǎn)
• 壓電式控制閥
• 金屬密封結(jié)構(gòu)
• 響應(yīng)時(shí)間快
• 設(shè)計(jì)緊湊
• 316L/316SS不銹鋼結(jié)構(gòu)
• 高精度達(dá)± 1%
LF-02MD液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)小流量液體進(jìn)行快速、精確控制的領(lǐng)域。其簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨(dú)特的熱式測量系統(tǒng)提供精確的測量,同時(shí)液體溫度上升小于5度。高級(jí)的控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可提供對(duì)小流量液體 進(jìn)行 快速、穩(wěn)定的控制。 P2000i系列同時(shí)也包括有一個(gè)液體質(zhì)量流量計(jì),用于那些不需要進(jìn)行流量控制的場合。
D2000i系列液體質(zhì)量流量控制器被設(shè)計(jì)用于要求對(duì)液體快速、精確控制的半導(dǎo)體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個(gè)壓電激勵(lì)隔膜控制閥可讓響應(yīng)時(shí)間小于1秒。潔凈空間內(nèi)的裝配工藝和全金屬密封結(jié)構(gòu)確保(高純度和泄漏完整性)。獨(dú)特的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量,同時(shí)液體溫度僅上升5度,此外,D2000i的簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
液體流量計(jì)和控制器技術(shù)參數(shù)
流量范圍 : 液體流量控制器是以異丙醇(IPA)來標(biāo)定的,在測量其它液體介質(zhì)時(shí)需要乘以一個(gè)校正系數(shù),具體請(qǐng)參考表一
響應(yīng)時(shí)間 : P2000i系列 : 2s( 設(shè)定點(diǎn)的2%之內(nèi) )
D2000i系列:<1s( 流量的5%之內(nèi) )
精度和線性 :± 1%滿量程(P2000i系列);±1%讀數(shù)(D2000i系列)
重復(fù)性 : P2000i系列:<±0.2%滿量程(任意連續(xù)溫度下)
D2000i系列:<±0.2%讀數(shù)
量程比: P2000i系列:50:1(2%-100%滿量程)
D2000i系列:20:1(5%-100%滿量程)
最大操作溫度 : 40℃(104℉)
最大操作壓力: 125PSIG
溫度系數(shù) :< 0.1%/℃
>設(shè)定點(diǎn)輸入 /流量輸出信號(hào) : 0-5VDC/0-5VDC(輸出流量信號(hào)時(shí):需最小2KΩ電阻)
供電電源 :﹢ 15VDC±10%(電流消耗<200mADC時(shí))
泄露率 : 1х10 -9 atm.cc/s He
預(yù)熱時(shí)間: 10分鐘(P2000i系列);20分鐘(D2000i系列)
電氣連接 : 9針D型
入口 /出口過程連接 : 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制閥 :壓電式常開
內(nèi)置容積 :< 0.71ml(P2000i系列);<1ml (D2000i系列)
重 量 :≤ 0.68Kg
結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體: 316LSS
傳感器組件 : 316LSS
閥構(gòu)成部件 : 316LSS(D2000i系列);302SS和316LSS(P2000i系列)
“ O”型環(huán):316LSS
表 一
IPA 流量范圍(CCM) 液體介質(zhì) 校正系數(shù)
0.003-0.14
0.008-0.40
0.020-1.00
0.070-3.50
0.150-7.50
0.220-11.0 CupraSelect 1.164
己烷 1.492
辛烷 1.532
OMCTS 1.927
TDEAT 1.258
TMP 1.357
四乙基原硅酸鹽 1.156
TMB 1.413
水 0.492
訂貨時(shí)須提供:
1、產(chǎn)品型號(hào)
2、設(shè)定點(diǎn)輸入/流量信號(hào)輸出
3、接口尺寸和類型
4、流量范圍
5、介質(zhì)(液體類型)
6、工作溫度
7、入口壓力P1
8、出口壓力P2(流量計(jì)無須提供)
9、其它要求
成都萊峰科技有限公司
熊先生
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