檢測認證人脈交流通訊錄
- 測量原理 白光干涉測量
測量物鏡 10X 20X 50X
垂直測量范圍： 100um(400um可選)
垂直分辨率 0.1nm
X,Y測量范圍： 1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm
工作距離： 3.6mm 3.6mm 1.7mm
側向分辨率 2.5um 1.25um 0.5um
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