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硅烷

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    • 硅烷 A colorless,flammable,high pressure gas.(一種無色,易燃,高壓氣體) Formula（分子式）: 　　　　　　　　　　　　　SiH4 Molecular weight(分子量)： 　　　　　　　　　32.12 Boiling point(沸點(diǎn)): 　　　　　　　　　 　　 -111.5℃,-168.7°F; Melting point(融點(diǎn)): 　　　　　　　　　　　　-185℃,-301°F. Vapor Pressure(蒸汽壓): 　　　　　　　　　　 8274Kpa(21.1℃);1200Psia(70°F) Specific Volume(比容)：　 　　　　　　　　　 0.755m3/kg(21.1℃,101.325KPa) 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 12.1ft3/lb(70°F,14.696psia) Lower Flammable Limit(最低可燃性含量)：　　　0.8％ Upper Flammable Limit(最高可燃性含量)： 　　 98％ Threshold Limit Value(人體的最高容許濃度)：　0.5ppm UN Number(UN號碼)： 　　　　　　　　　　　　 UN2203 DOT Classification(DOT類別)：　 　　　　　　 2.1(Flammable Gas)(可燃性氣體) DOT Label(DOT標(biāo)簽)： 　　　　　　　　　　　　FLAMMABLE GAS(可燃性氣體) Cylinder Connection(鋼瓶接口)：　　　　　　　CGA/DISS/JIS--350/632/W22-14L Grsde(級別) 　　　　　　　　　　　　　　　　 6N Purity(純度) 　　　　　　　　　　　　　　　　99.9999％ Guaranteed Specification(保證規(guī)格) Impurity(非組分) Specification(標(biāo)準(zhǔn)) Oxygen(氧)+Argon(氬) ≤0.06　ppmv Nitrogen(氮) ≤0.5　ppmv Carbon Dioxide(二氧化碳) ≤0.05　ppmv Carbon Monoxide(一氧化碳) ≤0.05　ppmv Helium(氦) ≤1　ppmv Water(水) ≤0.1　ppmv Hydrogen(氫) ≤20　ppmv Disilane(乙硅烷) ≤0.5　ppmv Disiloxane(二甲硅醚) ≤0.05　ppmv C2-C4(碳2--碳4) ≤0.1　ppmv Methane(甲烷) ≤0.05　ppmv Total Chlorosilanes(總氯硅烷) ≤0.1　ppmv Cylinder Size(liter)鋼瓶體積(升) Content(Kg,lbs)氣含量(公斤,磅) 43.8 12,26.4
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    鄭溪松/張宇

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