檢測認證人脈交流通訊錄
NIKON集成電路檢查顯微鏡ECLIPSE L200/D
- NIKON將CFI60光學系統用于集成電路檢查顯微鏡，由此獲得前所未有的高對比度圖象。
CFI60光學系統是將尼康著名的CF（消色差）設計與無限遠光學系統結合在一起，使得物鏡不僅工作距離更長，而且數值孔徑更高；符合SEMI S2-93A,S8-95S設計；利用計算機輔助工程系統（CAE）隊機身進行防震設計；具有全面的防污染措施。
NIKON集成電路檢查顯微鏡ECLIPSE L200/D規格
調焦機構 行程29mm,粗調12.7mm/轉，
微調0.1mm/轉 1µm/格
反射照明器 12V100W鹵素燈；電動孔徑光闌（中心可調）
固定型視場光闌；可選配小孔光闌
透射照明器
（僅L200D） 12V100W鹵素燈；內置式孔徑光闌；
LWD聚光器
物鏡轉換器 固定式六孔萬能物鏡轉換器（電動），具有DIC插槽。
目鏡筒 超寬視場可傾式三目鏡筒
載物臺 8X8載物臺（205X205mm）（透射50X150mm）
粗微移動可以互相轉換，X-Y方向微動手柄位置固。
目鏡 CFI目鏡系列
物鏡 CFI LU/L PLAN系列
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