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ETD-2000Ⅲ/3000Ⅲ 三靶小型離子濺射鍍膜機

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    • ETD-2000Ⅲ/3000Ⅲ 離子濺射儀：依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的，最簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。他相對于ETD-2000/3000的特別之處是在一個真空室內設計安裝了三個靶。旋轉樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實驗室的各種復合膜樣品制備，及非導體材料實驗電極制作。 配置參數如下： 靶（上部電極）：直徑：45mm，厚度：0.12mm 真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm 樣品臺高度調節：手動調節 濺射面積： Ф45mm，三區域 真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar 離子電流表： 最大電流：50mA(100mA) 定時器： 最長時間：900S 微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管 可通入氣體： 多種 最高電壓： -1600（-3000）DCV 機械泵： 2L/S 樣品表面離子清潔（選配） 意力博通還提供以下服務： 維修或改造所有類型任何品牌的掃描電子顯微鏡(SEM)、數字圖像和Si(Li)探測器。提供國產化能譜儀及改造X射線能譜儀等。

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