檢測認證人脈交流通訊錄
- AB-1V單軸氣浮平臺
技術指標：
外形尺寸：250X130X140mm
設計行程：70mm
定位分辨率：1μm或0.5μm
重復定位精度：2μm
矩形空氣軸承，直線電機驅動
預留試驗裝置安裝接口
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