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檢測認證人脈交流通訊錄

半導體材料氣體用 氣體泄漏探測器XP-703D

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    • 特長 最適用于半導體材料氣體的超微量泄漏檢測。 通過報警燈及蜂鳴器即可得知氣體泄漏。 規格 XP-703D 檢測原理 熱線型半導體式 檢測對象氣體 砷化三氫AsH3、 磷化氫PH3、 乙硼烷B2H6、 硅烷SiH4、 氫氣H2 等半導體材料氣體 能檢測的泄漏量 1.0×10-7 1.5×10-7 0.5×10-7 2.5×10-7 5×10-7 Pa.m3 /s 能檢測的濃度 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 ppm 應答時間 10秒 檢測表示 蜂鳴器發出斷續音且警報燈閃爍 電源 5號錳干電池4節 電池使用時間 使用堿性干電池使用約9小時（使用錳干電池約3小時） 使用溫度范圍 0℃～ 40℃ 外形尺寸 W68×H155×D32㎜ 重量 約 400g 附件 皮套、排放過濾器、過濾片、檢查氣體、 標準附屬品、5號錳干電池4本 另售的選購件 Ni-Cd 電池專用充電器、耳機 ※1 也可使用堿性干電池、Ni-Cd 電池。

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