中圖儀器光學3D表面輪廓儀是以白光干涉技術為原理的光學測量儀器，在超精密加工顯微測量場景中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、面形輪廓、腐蝕情況、粗糙度、臺階高度等表面形貌特征進行測量和分析，如對飛機發(fā)動機葉片表面粗糙度的測量、衍射原件輪廓尺寸的測量、金字塔金剛石磁頭表面輪廓的測量等。

數(shù)秒內(nèi)就可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

超光滑透鏡測量
超光滑透鏡測量摩擦磨損形貌測量
金屬片磨損分析
金屬光滑凹面輪廓測量
 

現(xiàn)有的光學非接觸測量方法難以完成高反射曲面零件的三維形貌高精度測量，也難以滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化需求。利用白光干涉掃描技術為基礎研制而成的光學3D表面輪廓儀，就是一種用于對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維檢測的光學測量儀器，它的特點是可以達到納米級的檢測精度。測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，可以快速獲取被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進行檢測，主要用于成品質(zhì)量的管理，確保良品合格率。