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直接熱式質量流量計 直接熱式質量流量計控制器

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    • 直接熱式質量流量計 直接熱式質量流量計控制器 AX10FC直接熱式MFC/MFM采用熱式測量原理,直接用兩支快速反應的鎧裝傳感器測量氣體流量。由于沒有層流元件,并采用哈氏合金傳感器,V10FC可用于易結晶和腐蝕性的氣體測量。對低壓管道或者壓力損失小的應用,AX10FC也同樣適用。 AX10FC直接熱式MFC/MFM與其它差壓原理的V10FC一樣,具有三路流量/壓力/溫度顯示和輸出功能。 產品應用 產品主要用于真空,鍍膜,石油化工,煤炭冶金,制氣配氣,環保及各種分析,科研院所實驗設備。 產品特點 ● 直接熱式原理,無層流元件 ● 無壓損,抗結晶,抗腐蝕 ● 適用于各種低壓和高壓管道 ● 精確測量和控制氣體的質量流量 ● 預熱時間短,零漂小,可靠性高 ● 多種氣體可選,也可自行輸入 技術參數 技術指標 AX10FC-RC質量流量控制器 AX10FC-RM質量流量控制器 量程范圍 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~2000SLM 控制范圍 控制器20:1 流量計20:1 準 確 度 流量:±3%F.S 壓力:0.5% F.S 溫度:±1℃ 線 性 ±0.5%F.S 重復精度 ±0.2%F.S 響應時間 100ms 10ms 數 字 量 RS232/485,MODBUS協議 模 擬 量 0~5V、4~20mA、1~5V 供電 12V/24V/±15V可選 工作溫度 0~50℃ 工作壓力 工作壓差:0.03~0.5MPa 工作壓降:<0.01Mpa 最大耐壓 低壓1MPa,中壓3MPa,高壓10MPa 電氣連接 DB15孔 漏 率 1×10-9SccsHe 溫度系數 ±0.015%F.S/℃ 底座材質 316L 密封材料 氟橡膠,氯丁橡膠,丁晴橡膠 接 頭 VCR1/4;swagelokφ6

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