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質量流量控制器

型號:LF 測量范圍:0.5（m3/h）精度等級:1% 公稱通徑:3,6,8,10（mm）適用介質:全部純潔的氣體工作壓力:3-10MPA（MPa）工作溫度:0-65（℃）商品簡介 "用途: 質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。" 詳細參數標準: 氣體質量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態規定為：標準溫度………………0℃（273.15K）標準壓強………………101325Pa 輸入和輸出: 輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA 輸入設定電壓…………0～+5.00V 輸出電壓檢測…………0～+5.00V 技術性能指標滿量程流量范圍（N2）:5SCCM～10SLM 控制范圍:2～100％F.S. 閥類型（及閥初始狀態）:電磁調節閥（常閉）準確度:±1％F.S. 線性:±0.5％F.S. 重復精度:±0.2％F.S. 響應時間:≤2sec 工作溫度范圍:5～65℃ 工作壓差:0.1～0.3MPa 耐壓:3MPa ,10MPa 漏氣率:1×10-9atm.cc/sec He 通道濕材料:316L不銹鋼、密封材料靜密封材料:氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠）動密封材料:氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯）接頭選擇 VCR 1/4” Swagelok 1/4”或φ6、φ3 重量:1.2Kg

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張先生