海德漢HEIDENHAIN編碼器  
海德漢是擁有一百多年光刻制造技術的德國公司。以生產高精度的產品而著名，產品主要包括HEIDENHAIN直線光柵尺、HEIDENHAIN長度計、HEIDENHAIN角度編碼器、海德漢旋轉編碼器、HEIDENHAIN數控系統、海德漢3D測頭和海德漢數顯裝置等。  
海德漢公司的光學掃描型光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線-光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。  
這些精密光柵通過多種光刻工藝制造。光柵的制造方式有：  
在玻璃上鍍硬鉻線  
在鍍金鋼帶上蝕刻線條  
在玻璃或鋼材基體上蝕刻三維結構圖案  
海德漢公司開發的光刻工藝生產的典型柵距為50um~um。  
這些光刻工藝制作的光柵距非常小，而且線條邊緣清晰均勻。再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質量信號的關鍵。  
旋轉編碼器的位置測量精度主要取決于：  
徑向光柵的方向偏差  
刻線碼盤相對軸承的偏心  
軸承徑向偏差  
與聯軸器的連接導致的誤差  
編碼器內和編碼器外細分和數字化電路中的細分誤差  
ECN/EQN/ERN系列旋轉編碼器有內置軸承和安裝式定子聯軸器。它能補償徑向跳動和對正誤差且幾乎不影響精度。編碼器軸直接連接被測量軸。軸角加速期間，定子聯軸器必須只吸收軸承摩擦所導致的扭矩。定子聯軸器允許被測軸軸向竄動量為：
產品詳情：http://www.sh-mjy.cn/Products-33002245.html 
https://www.chem17.com/st415401/product_33002245.html