檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 小型滑軌式PECVD系統(tǒng)本設(shè)備主要針對實(shí)驗(yàn)中試石墨烯生長和制備使用,同時該設(shè)備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。
滑軌式PECVD加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內(nèi)溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護(hù)功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品,做到高性能、免維護(hù),提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。
1、加熱系統(tǒng)
最高溫度
1200℃
使用溫度
≤1100℃
爐膛有效尺寸
Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。)
爐膛材料
氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型
K型熱電偶
控溫精度
±1℃
控溫方式
30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為7”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序。
加熱長度
230mm
恒溫長度
100mm
加熱原件
電阻絲
供電電源
單相,220V,50Hz
2、PE射頻電源
功率輸出范圍
0W~500W
最大反射功率
100W
射頻輸出接口
50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度
≤5W
諧波分量
≤-50dbc
供電電壓
單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
整機(jī)效率
>=70%
功率因素
>=90%
冷卻方式
強(qiáng)制風(fēng)冷
3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
連接頭類型
雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)
50sccm,100sccm、500sccm(可根據(jù)用戶要求定制)
準(zhǔn)確度
±1.5%F.S
線性
±1%F.S
重復(fù)精度
±0.2%F.S
響應(yīng)時間
氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec
工作壓差范圍
0.1~0.5 MPa
最大壓力
3MPa
接口
Φ6,1/4''
顯示
4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度
5~45高純氣體
壓力真空表
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥
Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管
Φ6
https://www.chem17.com/st235110/product_36409892.html
http://www.ahbeiyike.com/ParentList-684448.html
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