檢測認證人脈交流通訊錄
- 結構 （點擊圖片查看詳細資料） 輸入電源 220VAC 50/60Hz, 單相 2000W (包括泵) 濺射電源 安裝有兩個濺射電源 直流（DC）電源：500W，針對于制作金屬膜 射頻（RF）電源：600W，可制作氧化物和金屬膜 同時可選配300W的射頻電源 磁控濺射頭 儀器中安裝有2個磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層，可通入冷卻水對靶材降溫 其中一個濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材 另一個濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導電性靶材 靶材尺寸要求：金屬靶：直徑為50mm,zui大厚度1.5mm 陶瓷靶：直徑為50mm,zui大厚度6mm 儀器中標配一個不銹鋼靶和氧化鋁陶瓷靶 濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機） 也可以根據(jù)自己的要求選擇2個射頻濺射頭或3個射頻濺射頭，訂購前需于本公司銷售人員 真空腔體 真空腔體：300 mm Dia x 300 mm h，采用不銹鋼制作 觀察窗口： 100 mm diameter 腔體打開方式采用上頂開，使得換靶更加容易 載樣臺 載樣臺尺寸：140mm dia.（zui大可放置4"的基底） 載樣臺可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1 - 20 rpm （可調(diào)） 載樣臺zui高可加熱溫度為500℃，控溫精度為+/- 1.0 °C 氣體流量控制器 儀器內(nèi)部安裝有2個質(zhì)量流量計 量程為：0-200sccm 氣體流量設置可以在6英寸的觸摸屏上進行操作 真空泵系統(tǒng) 配有一套分子泵系統(tǒng)（德國制作），采用一鍵式操作 薄膜測厚儀 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 ? LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關數(shù)據(jù) 外形尺寸 L1300mm× W660mm× H1200mm 重量 160 kg 質(zhì)保期 一年質(zhì)保期，終生維護 https://www.chem17.com/st152911/erlist_1290255.html http://www.kjmti.com.cn/Products-24006809.html
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