檢測認證人脈交流通訊錄
- 高真空熱蒸發鍍碳儀是一種用于在高真空環境下通過加熱蒸發固態碳源，使其沉積到工件表面形成均勻、致密碳膜的設備。其操作步驟涉及多個環節，包括設備準備、蒸發過程控制以及后續處理等。以下是詳細的操作步驟：
1.準備工作
環境準備：進入房間前換拖鞋，穿上防塵服。打開房間總電源，照明和插座的電源，并開啟排氣扇。同時，打開鍍膜間后面的電源和水源。
基板整理：整理好基板，以減少真空室在大氣壓狀態下的時間，有利于機械泵和分子泵抽真空。
設備檢查：打開鍍膜機的電源，檢查真空檢測顯示是否正常，觀察是高真空還是低真空狀態。
2.安裝與調整蒸發源
選擇蒸發頭：根據蒸鍍材料的不同，選擇合適的蒸發頭（金屬蒸盒或碳棒蒸發頭）。使用碳棒蒸發頭時，需將一個電極線連接至儀器后面的黑色孔，另一個電極線連接至紅色孔。
安裝碳棒，安裝蒸發頭：將碳蒸發頭裝在儀器上蓋上，插好電線，打開氮氣鋼瓶的開關，流量控制在0.035Mpa左右。
3.放置樣品
將要蒸發的基底材料洗干凈放在蒸發頭下面的基板上。對于金屬蒸鍍，還需將要蒸發的金屬用鑷子團成球形放入鎢籃中。
4.抽真空
開放氣閥，直到真空室門自動打開。關閉放氣閥，以免遺忘。
將蒸發源安裝在電極上，取出襯底托，將襯底安放在襯底托上，當好擋板。
檢驗石英振蕩器是否正常，觀察膜厚儀表上對應的綠色指示燈是否亮著。
把調壓器界面的旋鈕由停旋至蒸發1檔，調節蒸發電流，看電流表的示數是否顯示正常。
將旋鈕調至機械泵—分子泵檔，打開熱偶規至V2測量檔，開啟機械泵，拉出低閥，間隔2分鐘左右推進低閥，如此反復兩三次，待熱偶規表示數達到10Pa時，推進低閥，打開高閥，打開分子泵電源，開啟分子泵。
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