MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內(nèi)，就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。

　　優(yōu)勢介紹：一秒一片!可集成在生產(chǎn)線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試，在不到一秒內(nèi)就能形成單個硅片的二維圖像。

　　該儀器本身不使用機(jī)械運(yùn)動部件，因此在連續(xù)操作下也非?？煽?。它為每個晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為止*的。例如，在不到3個小時的時間內(nèi)，對10000個晶圓片的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行自動統(tǒng)計(jì)評估，結(jié)果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質(zhì)量的各種細(xì)節(jié)。

　　實(shí)時的質(zhì)量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。在運(yùn)行的生產(chǎn)過程中，MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障，從而使產(chǎn)品達(dá)到的性能。

　　優(yōu)勢介紹

　　◆ 在不到一秒的時間內(nèi)，可對一個晶圓片進(jìn)行全電特性測試。測量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。

　　◆在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計(jì)的晶圓片的統(tǒng)計(jì)信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)。

　　◆適用于測量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識別晶圓片層面的結(jié)晶問題，例如在光伏行業(yè)。

　　◆適用于擴(kuò)散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

　　技術(shù)參數(shù)

　　樣品厚度

　　100 μm up to 1 mm

　　樣品尺寸

　　在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間，或 4”到18”

　　電阻率

　　0.2 - 103 Ohm cm

　　傳導(dǎo)類型

　　p, n

　　材質(zhì)

　　硅晶圓，部分或*加工的晶圓片，復(fù)合半導(dǎo)體等

　　測量性能

　　少數(shù)載流子壽命(穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的)

　　測量位置

　　默認(rèn)2.8 mm， 其它可選

　　檢測時間

　　獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒

　　尺寸

　　400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg

　　電源

　　24 V DC, 4 A

　　其它細(xì)節(jié)

　　· 允許單片控制

　　· 參數(shù)自動設(shè)置，預(yù)定義的排序菜單

　　· 多達(dá)15個質(zhì)量等級的晶圓片自動分揀

　　· 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

　　· 快速提升工藝和生產(chǎn)線

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