檢測認證人脈交流通訊錄
- NSC-3000（A）全自動磁控濺射系統概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達6"旋轉平臺，支持到3個偏軸平面磁控管。系統配套渦輪分子泵，極限真空可達10-7Torr，15分鐘內可以達到10-6Torr的真空。通過調整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-3000（A）帶有14”立方形鋁質腔體，3個2”的磁控管，DC直流和RF射頻電源。在選配方面，我們提供不銹鋼腔體，260l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。
NSC-3000（A）全自動磁控濺射系統產品特點：
不銹鋼，鋁質腔體或鐘罩式耐熱玻璃
70或250l/s的渦輪分子泵，串接機械泵或干泵
13.56MHz，300-600WRF射頻電源以及1KWDC直流電源
晶振夾具具有的<1?的厚度分辨率
帶觀察視窗的腔門易于上下載片
基于LabView軟件的PC計算機控制
帶密碼保護功能的多級訪問控制
*的安全聯鎖功能
預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片
全自動磁控濺射系統如有需要歡迎訪問以下網址與我們取得聯系
http://www.nanochina17.com/NChina-Products-21818350/
https://www.chem17.com/st312447/product_21818350.html
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