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- NLD-3500(A)全自動原子層沉積設(shè)備概述：原子層沉積是一項沉積薄膜的重要技術(shù)，具有廣泛的應(yīng)用。ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積，這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性不會帶來影響，所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應(yīng)將會帶來非統(tǒng)計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無孔的特性，可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現(xiàn)到大基片上。 NLD-3500(A)全自動原子層沉積設(shè)備特點(diǎn)：NLD-3500（A）是一款全自動獨(dú)立的PC計算機(jī)控制的ALD原子層沉積系統(tǒng)，帶Labview軟件，具備四級密碼控制的用戶授權(quán)保護(hù)功能。系統(tǒng)為全自動的安全互鎖設(shè)計，并提供了強(qiáng)大的靈活性，可以用于沉積多種薄膜（如：AL2O3,AlN,TiN,ZrO2,LaO2,HfO2,等等）。應(yīng)用領(lǐng)域包含半導(dǎo)體、光伏、MEMS等。NLD-3500（A）系統(tǒng)提供12”的鋁質(zhì)反應(yīng)腔體，帶有加熱腔壁和氣動升降頂蓋，非常方便腔體的訪問和清潔。該系統(tǒng)擁有一個載氣艙包含多達(dá)7個50ml的加熱汽缸，用于前驅(qū)體以及反應(yīng)物，同時帶有N2或者Ar作為運(yùn)載氣體的快脈沖加熱傳輸閥。 全自動原子層沉積設(shè)備如有需要?dú)g迎訪問以下網(wǎng)址與我們?nèi)〉寐?lián)系 http://www.nanochina17.com/NChina-Products-21836771/ https://www.chem17.com/st312447/product_21836771.html
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