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ICP等離子刻蝕機(jī)的主要特點(diǎn)

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  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 　　CP等離子刻蝕機(jī)NRE-4000（ICPM）ICP刻蝕機(jī)概述：是帶ICP等離子源和偏壓樣品臺(tái)的高速刻蝕系統(tǒng)，系統(tǒng)可以達(dá)到高速率、低損傷、高深寬比的刻蝕效果。可實(shí)現(xiàn)范圍廣泛的刻蝕工藝，包括刻蝕III-V化合物（如GaAs，InP，GaN，InSb）、II-VI化合物、介質(zhì)材料、玻璃、石英、金屬，以及硅和硅的化合物（如SiO2、Si3N4、SiC、SiGe）等。 　　NRE-4000（ICPM）ICP刻蝕機(jī)主要特點(diǎn)： 　　基于PC控制的立柜式百級(jí)ICP-RIE刻蝕系統(tǒng)，擁有快速的刻蝕能力； 　　配套LabView軟件，菜單驅(qū)動(dòng)，自動(dòng)記錄數(shù)據(jù)； 　　觸摸屏監(jiān)控； 　　全自動(dòng)系統(tǒng)，帶安全聯(lián)鎖； 　　四級(jí)權(quán)限，帶密碼保護(hù)； 　　手動(dòng)上下載片； 　　可以支持ICP和RIE兩種刻蝕模式； 　　實(shí)時(shí)顯示真空、功率、反射功率圖表，以及流量實(shí)時(shí)顯示； 　　NRE-4000（ICPM）配置內(nèi)容： 　　外觀尺寸：緊湊型立柜式設(shè)計(jì)，不銹鋼腔體，外觀尺寸為44"(W)x26"(L)x62"(H)； 　　等離子源：NM-ICP平面電感耦合等離子體源，帶有自動(dòng)調(diào)諧器，激活面積可以達(dá)到8"； 　　處理腔體：13"的圓柱形超凈腔體，材質(zhì)為陽極電鍍鋁。晶片通過氣動(dòng)頂蓋裝載，腔體帶有上載安全鎖，用戶可以通過PC控制，至多可以裝載8個(gè)小尺寸基片，可支持的晶圓尺寸為8"。腔體帶有2"的觀察窗口。腔體頂部的噴嘴式氣流分配裝置，提供8"區(qū)域的氣體均勻分布。系統(tǒng)帶暗區(qū)保護(hù)。 　　ICP等離子刻蝕機(jī)如有需要?dú)g迎訪問以下網(wǎng)址與我們?nèi)〉寐?lián)系 　　http://www.nanochina17.com/NChina-Products-21723797/ 　　https://www.chem17.com/st312447/product_21723797.html

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