檢測認證人脈交流通訊錄
PFA清洗花籃4寸晶圓盒盛放硅片耐腐蝕耐受高溫不變形
- PFA花籃
PFA花籃(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花藍 ,鐵氟龍卡匣 , 鐵氟龍晶舟盒 ,鐵氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片/硅片的容器,耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿),能做激光雕刻,能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。
主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃,進入化學酸、堿蝕刻制程中,可搭配PFA把手使用。
二、參數
名稱 規格 耐溫性 應用
PFA花籃
PP Cassette
2寸 -200~260℃ 酸堿傳輸制程
4寸
6寸
三、特點
1.耐腐蝕:耐受強酸強堿
2.搭配可活動把手,用于晶圓芯片清洗運輸
3.耐高低溫:-200~260℃
4.耐絕緣:介電性能與溫度、頻率無關;
5.防污染:本底值低,金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb;
6.低的溶出和析出,確保晶圓芯片無污染
7.化學性能穩定
公司擁有三十多年PFA制品生產加工經驗,公司投入大量人力、物力致力于太陽能光伏相關產品的研發,截止目前,公司推出的光伏用--太陽能硅片花籃,太陽能硅片承載器,硅片花藍,,半導體清洗花
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