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圓探針式臺階儀

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    •   一、自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀的功能   通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及光學變焦相機等功能,程序設置簡便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法,可支持2D或3D測量。 圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。   設備特點   臺階高度:幾納米至1000μm  微力恒力控制:0.03至50mg   樣品全直徑掃描,無需圖像拼接  視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機   圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差   軟件:簡單易用的軟件界面  生產能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化   主要應用   臺階高度:2D和3D臺階高度  紋理:2D和3D粗糙度和波紋度   形狀:2D和3D翹曲和形狀  應力:2D和3D薄膜應力   缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌   工業應用   半導體和化合物半導體  LED:發光二極管   太陽能  MEMS:微機電系統   數據存儲  汽車   圓探針式臺階儀產品來源:   https://www.chem17.com/st125795/erlist_2338024.html   http://www.natengyiqi.com/Products-36785881.html

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