OSAKA磁懸浮分子泵TGkine-R系列產(chǎn)品型號(hào)：

TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■ 省電設(shè)計(jì)     
■ 在真空泵本體中，可存儲(chǔ)設(shè)置參數(shù)，運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。 
※即使在維護(hù)階段更換控制器，也可實(shí)現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。     
■ 支持多種通信接口規(guī)格 （兼容EtherCAT通信協(xié)定）     
■ 適用于國(guó)際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2

使用場(chǎng)合：

■ 半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ FPD制造設(shè)備
■ 太陽(yáng)能電池制造設(shè)備
■ 玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工
■ 鍍膜工藝
■ 加速器/宇宙環(huán)境模擬器

技術(shù)參數(shù)：

更多訪問：

http://www.shycsm.net/Products-37038994.html
https://www.chem17.com/st519780/erlist_2368397.html