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KSA BandiT 實時襯底溫度測試儀

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    •   kSA BandiT實時襯底溫度測試儀是一種非接觸、實時測量半導(dǎo)體襯底表面溫度的測試系統(tǒng),采用半導(dǎo)體材料吸收邊隨溫度的變化,實時測量晶片/襯底的溫度;并且kSA BandiT 已經(jīng)成功地安裝到眾多的MBE, MOCVD, Sputter, PLD等半導(dǎo)體沉積設(shè)備上,實現(xiàn)了晶片的溫度實時檢測。   kSA BandiT多晶片溫度監(jiān)控軟件結(jié)合了自動伺服馬達(dá)控制的掃描檢測功能,從而實現(xiàn)了MBE外延薄膜生長過程中多襯底溫度實時Mapping檢測。   該系統(tǒng)在外延薄膜生長過程提供襯底/晶片實時的二維溫度信息的系統(tǒng)。對Wafer(及薄膜)表面溫度實時、非接觸、非入侵的直接檢測;采用溫度和半導(dǎo)體材料對光的吸收邊(譜帶能量)相關(guān)性原理,即材料的本征特性,使得測量結(jié)果更為準(zhǔn)確;可裝載到MBE、MOCVD、濺射、蒸發(fā)系統(tǒng)等和熱處理、退火設(shè)備上,進(jìn)行實時溫度檢測。   kSA BandiT實時襯底溫度測試儀   技術(shù)參數(shù):   溫度范圍:室溫~1300攝氏度;   溫度重復(fù)性:0.2攝氏度;   溫度分辨率:0.1攝氏度;   穩(wěn)定性:+/-0.2攝氏度;   主要特點:   *實時、非接觸、非入侵、直接Wafer溫度監(jiān)測;   *多基片/晶片表面2D溫度Mapping監(jiān)測;   *真實的Wafer表面或薄膜溫度監(jiān)測;   *整合了新的黑體輻射監(jiān)測技術(shù);   *沉積速率和薄膜厚度分析;   *表面粗糙度分析功能;   *測量波長范圍可選(例如:可見光波段、近紅外波段等)   *避免了發(fā)射率變化對測量的影響;   *無需沉積設(shè)備Viewport特殊涂層;   更多詳情請咨詢:http://www.julistech.com/SonList-2169551.html   https://www.chem17.com/st454219/erlist_2169551.html

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