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化學(xué)拋光機(jī)

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  • 品  牌:
  • 主要規(guī)格:
  • 用  途:
    •   UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。   化學(xué)拋光機(jī)的主要特點(diǎn):   1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。   2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.01mm)。   3、設(shè)有兩個(gè)加工工位,可分別進(jìn)行控制。   4、配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。   5、配置自動(dòng)滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動(dòng)研磨和拋光。   6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。   7、研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。   化學(xué)拋光機(jī)   http://www.sykejing.com.cn/Products-33414602.html   https://www.chem17.com/st5171/product_33414602.html

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