3D干涉輪廓儀

3D干涉輪廓儀Nano X-2000是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款檢測設備，既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。Nano X-2000表面微觀形貌儀建立在白光掃描干涉技術和移相干涉技術的基礎上，以其較高的精密度和準確度定性和定量地反映出被測件的表面粗糙度、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。適用于半導體工藝、航空航天、MEMS、超精密加工等領域，在納米尺度進行超精細表面形貌的測量。

Nano X-2000三維表面微觀形貌檢測儀主要由精密載物臺、照明系統、光學干涉成像系統、實現移相運動的微位移系統、圖像采集系統及圖像數據處理系統等組成。整個檢測儀放置在氣浮抗振平臺上。載物臺用于安放被測件，同時通過傾斜和XY二維平移調整使被測面準確定位于感興趣的區域；光源及照明系統提供給被測面均勻又充分的反射式照明；干涉成像系統采用Mirau干涉物鏡結構獲取被測表面干涉圖像；采用壓電陶瓷傳感器（PZT）實現微位移控制；通過CCD與自主開發的軟件系統采集并處理干涉圖像，獲得被測面的相位信息進而得到表面輪廓。

3D干涉輪廓儀優勢：

• 覆蓋范圍廣： 兼容多種測量和觀察需求
• 保護性： 非接觸式光學干涉測量
• 可操作性：“一鍵式”操作更簡單
• 智能化：特殊形狀智能計算特征參數
• 個性化： 定制化測試報告；
• 更好用戶體驗： 迅捷的售后服務，個性化應用軟件支持