檢測認證人脈交流通訊錄
HORIBA STEC LE-10液體汽化器/控制器
- HORIBA STEC LE-10液體汽化器/控制器
Specifications
Application liquid
H2O/IPA/TEOS/SiCl4
Please contact HORIBA if you require vaporizing any liquid materials that are not listed here.
Maximum vaporization volume (gas flow rate)
H2O : 10g/min (12.4 SLM)
IPA ： 30g/min (11.1 SLM）
TEOS : 50g/min（5.3 SLM）
SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM）
HORIBA STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的閥門類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數字式、DeviceNet?，以及PROFIBUS?，RS485，cc-link，(取決于產品型號)。我們產品的流量范圍可覆蓋微量流量直至更大流量。
HORIBA STEC質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微電子加工制造業等
提供多氣體，多量程的解決方案，是銷量很多的氣體質量流量控制器。高精度，快速響應，輕巧的尺寸。全金屬密封，橡膠密封
適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績：產品系列中有力求具有成本優勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60
用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM（以N2為標準）
應用領域
化工/石化/石油/天然氣
生物反應/生命科學
食品飲料
LED FPD
冶金
電力能源及水處理
造紙
環境保護及控制
汽車
半導體/光伏
微電子
EPC及系統集成商
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