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HORIBA STEC D512MG D522MG壓力式質量流量控制器

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品　　牌：
日本HORIBA

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出廠價：
0

主要規格：
STEC D512MG D522MG

用　　途：
精確計測和控制

日本HORIBA STEC壓力式氣體質量流量控制器，不受壓力波動影響 HORIBA STEC Pressure Insensitive mass flow module installed with the differential pressure detection and the piezo actuator valve. The CRITERION D500 has all performance for the advanced semiconductor manufacturing process; pressure insensitive, multi-range/multi-gas/multi-pressure, G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation) Self-Diagnosis function, high accuracy, fast response, wide range, and all-metal. Visit our Mass Flow Controller Comparison page for assistance in choosing the right Mass Flow Controller to meet your requirements. Features Pressure Insensitive Performance A new high-performance Pressure Insensitive function provides for simplified gas supply systems Multi-range,multi-gas,multi-pressure solution The new functions allow the user to change gas type, Full-scale flow rate, and supply pressure range G-LIFE (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation) Self-Diagnosis function The advanced process health monitoring function allows operators to conduct their own tests, typically in three seconds or less for improved throughput High Accuracy Flow rate accuracy for process gas has been improved with an advanced three-dimensional adjustment Fast Response Response: < 0.8 second Accurate, stable flow control has been realized Dynamic Range Wide control range: 0.2% F.S. to 100% F.S. HORIBA STEC提供多種不同類型的氣體質量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產品都擁有高精度、快速響應的特性。多種不同類型的氣體質量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的閥門類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數字式、DeviceNet?，以及PROFIBUS?，RS485，cc-link，(取決于產品型號)。我們產品的流量范圍可覆蓋微量流量直至更大流量。 HORIBA STEC質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業、太陽能光電工業和微電子加工制造業等 *1 Devicenet是一種通訊方式的標志。 *2 PROFIBUS是一種國際化的通訊方式標志。提供多氣體，多量程的解決方案，是銷量很多的氣體質量流量控制器。高精度，快速響應，輕巧的尺寸。全金屬密封，橡膠密封適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績，低成本：產品系列中有力求具有成本優勢的型號：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60 用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM（以N2為標準）應用領域化工/石化/石油/天然氣　　生物反應/生命科學　　食品飲料 LED FPD 　　冶金　　電力能源及水處理　　造紙　　環境保護及控制　　汽車　　半導體/光伏　　微電子 EPC及系統集成商

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