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檢測認證人脈交流通訊錄
- 概要
HORIBA STEC VC-1310汽化器
由于是無載體類型，所以可以構筑小型氣化系統
由于通過質量流量來測定發生量，所以可以不必受到溫度?9?9壓力的影響進行液體材料的氣化供給。
特征
小型 ： 只有原來的1/5
高速完全氣化 ： 可以瞬間完全氣化被供應的液體。
安裝固定方向自由 ：任意固定方向，都可以保持相應功能。
不需要氣泡式容器、氣化容器
規格
VC-1310
產生流量 (TEOS發生時)
不滿1.0 CCM (液相的換算) ※1
對象液體種類
會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外
可升溫溫度
最大值.150℃
接氣部材質
SUS-316L (PTFE)
耐壓
1.0MPa(G)
VC-1310
產生流量 (TEOS發生時)
最大值.5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1
對象液體種類
會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外
或升溫溫度
最大值.150℃
接氣部材質
SUS-316L (PTFE)
耐壓
1.0MPa(G)
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