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檢測認證人脈交流通訊錄

LASERTEC 掩模缺陷檢測儀 MATRICS X8ULTRA系列

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  • 品　　牌：
  • LASERTEC
  • 主要規格：
  • デザインノード7nm～5nmのEUVマスクおよびフォトマスクに対応できる半導體マスク検査システム ピクセルサイズ45nm、ハイパワー213nmQCWレーザー（>400mW）、および2種類の偏光照明により、高感度化を達成
  • 用　　途：
  • ウェハファブにおけるEUVマスクおよびフォトマスクの受入検査、定期的な品質確認検査 EUVマスクおよびフォトマスクの製造工程における出荷前検査
    • 特長 デザインノード7nm～5nmのEUVマスクおよびフォトマスクに対応できる半導體マスク検査システム ピクセルサイズ45nm、ハイパワー213nmQCWレーザー（>400mW）、および2種類の偏光照明により、高感度化を達成 初期狀態のマスクパターンの全畫像を保存し、ウェハ露光後のマスクパターンと比較して、マスク上の異物を検出するマスクtoマスク比較検査機能（MtM機能）を搭載 マスクのパターン寸法分布（CD uniformity）をマスク検査と同時に計測し、可視化する機能を搭載 EUVマスク用のDual Pod、フォトマスク用のRSP150、RSP200に対応可能 OHT（Overhead Hoist Transport）と連動した全自動検査が可能 ステージ系と電気ラック系を一體化した設計により、コンパクトなフットプリントを達成 用途 ウェハファブにおけるEUVマスクおよびフォトマスクの受入検査、定期的な品質確認検査 EUVマスクおよびフォトマスクの製造工程における出荷前検査 仕様 検査方式 マルチダイモード、シングルダイモード、MtMモード 検査スキャン時間 50分/100mmx100mmエリア 対応マスク EUV用マルチレイヤー、Cr、MoSi、OMOG マスクサイズ 6インチ

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