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檢測認證人脈交流通訊錄
LASERTEC 光刻工藝檢測裝置 LX530
- 主要規格：
- 高S/N撮像信號により高感度CD測定実現 高速撮像のためウェハ全面測定が可能 下地パターンの影響をキャンセルできる獨自の光學系 業界初のCDU検査?分類機能搭載
- 用 途：
- リソグラフィ工程におけるウェハ面內?ショット內?チップ內のCD分布管理 エッチング工程におけるウェハ面內?ショット內?チップ內のCD分布管理 ウェハ外周部CDのSPC管理
- 特長
高S/N撮像信號により高感度CD測定実現
高速撮像のためウェハ全面測定が可能
下地パターンの影響をキャンセルできる獨自の光學系
業界初のCDU検査?分類機能搭載
用途
リソグラフィ工程におけるウェハ面內?ショット內?チップ內のCD分布管理
エッチング工程におけるウェハ面內?ショット內?チップ內のCD分布管理
ウェハ外周部CDのSPC管理
深圳京都玉崎株式會社
- 地址：
- 江蘇蘇州市高新區竹園路7號中梁香緹商務廣場2棟1201室
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