檢測認證人脈交流通訊錄
氣體質量流量計
- 主要規格:
- 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1, 2, 3, 5, 10, 20, 30,50,100,200SLM
- 用 途:
- 本公司產品廣泛應用于工業氣體、石油、化工、醫療、電子及微電子、半導體、太陽能光伏、各類實驗室、研究所、生物醫藥、標準檢測等各類高新技術領域,為客戶提供各種氣體管道輸送系統的全面服務。深受廣大客戶的肯定及認同。
- 1、用途和特點
氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller )/氣體質量流量計(Mass Flow Metre)于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它在多個領域的科研和生產中有著重要而廣泛的應用。
對產品性能和生產工藝的不斷改進,質量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、工作壓力范圍寬等(可以使用在高壓及真空系統)特點。操作使用方便,可任意位置安裝,配合流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用,也可直接同計算機實現RS-232 連接,非常方便的實現自動控制。它也可以作為氣體質量流量計使用。
2、氣體質量流量控制器的命名方法
本公司產品采用中華人民共和國電子行業標準SJ/T10583-94 以及SJ37 所規定的通用技術條件和命名方法。
3、主要技術指標:
序號 項目 內容
① ②
1 流量范圍 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;
0~1, 2, 3, 5, 10, 20, 30,50,100,200SLM
2 準確度(%F.S) ±1%F.S
3 線性(%F.S) ±(0.5~2)%F.S ±(0.5~1)%F.S
4 重復精度(%F•s) ±0.2%F.S
5 響應時間(sec) 電特性:<10;氣特性:<1~4
6 工作壓差范圍(MPa) 0.05~0.5
7 耐壓(MPa) 3,10
8 工作環境溫度(℃) 0~65
9 輸入輸出信號電壓 0~+5.00V
10 電源 +15V 500mA,-15V 500mA(輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA)
11 外形尺寸(mm) 130*28*121
12 重量約(kg) 1.0
注意:
質量流量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定。
質量流量的單位規定為: SCCM (標準毫升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態規定為: 溫度 ---273.15K ( 0℃ );
氣壓 —- 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale): 滿量程值
成都萊峰科技有限公司(銷售部)
張生
- 地址:
- 中國.成都.成華區.泰興路36號418(二環北四段)
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