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檢測認證人脈交流通訊錄
氣體質量流量控制器
- 主要規格：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM;0～1, 2, 3, 5, 10, 20, 30,50,100,200SLM
- 用 途：
- 氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller ）/氣體質量流量計(Mass Flow Metre)于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它在多個領域的科研和生產中有著重要而廣泛的應用。
- 1、用途和特點
氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller ）/氣體質量流量計(Mass Flow Metre)于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它在多個領域的科研和生產中有著重要而廣泛的應用。
對產品性能和生產工藝的不斷改進，質量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統）特點。操作使用方便，可任意位置安裝，配合流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用，也可直接同計算機實現RS-232 連接，非常方便的實現自動控制。它也可以作為氣體質量流量計使用。
2、氣體質量流量控制器的命名方法
本公司產品采用中華人民共和國電子行業標準SJ/T10583-94 以及SJ37 所規定的通用技術條件和命名方法。
3、主要技術指標:
序號 項目 內容
① ②
１ 流量范圍 0～5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM;
0～1, 2, 3, 5, 10, 20, 30,50,100,200SLM
2 準確度（%F.S） ±1%F.S
3 線性(%F.S) ±(0.5～2)%F.S ±(0.5～1)%F.S
4 重復精度(%F•s) ±0.2%F.S
5 響應時間(sec) 電特性：＜10；氣特性：＜1～4
6 工作壓差范圍（MPa） 0.05～0.5
7 耐壓（MPa） 3，10
8 工作環境溫度（℃） 0～65
9 輸入輸出信號電壓 0～+5.00V
10 電源 +15V 500mA，-15V 500mA（輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA）
11 外形尺寸（mm） 130*28*121
12 重量約（kg） 1.0
注意:
質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定為: SCCM (標準毫升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態規定為: 溫度 ---273.15K ( 0℃ );
氣壓 —- 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale): 滿量程值
成都萊峰科技有限公司（銷售部）
張生
- 地址：
- 中國.成都.成華區.泰興路36號418(二環北四段)
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