檢測認證人脈交流通訊錄
- 特點：
最適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
采用聲光報警。
規格
型 號 XP-703D
檢測對象氣體 半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測原理 熱線型半導體式
采樣方式 自動吸引式
可檢測濃度
（單位：ppm） 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度 10秒以內
電話：0532-85895816
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