檢測認證人脈交流通訊錄
掃描電鏡/X射線能譜儀(SEM/EDS)
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對應法規:GB
CNAS認可項目:是
- 掃描電子顯微鏡/X射線能譜儀(SEM/EDS)是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時,被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。原則上講,利用電子和物質的相互作用,可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息,如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。SEM/EDS正是根據上述不同信息產生的機理,對二次電子、背散射電子的采集,可得到有關物質微觀形貌的信息,對x射線的采集,可得到物質化學成分的信息。
應用范圍:
1.材料組織形貌觀察,如斷口顯微形貌觀察,鍍層表面形貌觀察,微米級鍍層厚度測量,粉體顆粒表面觀察,材料晶粒、晶界觀察等。
2.微區化學成分分析,利用電子束與物質作用時產生的特征X射線,來提供樣品化學組成方面的信息,可定性、半定量檢測大部分元素(Be4-PU94),可進行表面污染物的分析,焊點、鍍層界面組織成分分析。根據測試目的的不同可分為點測、線掃描、面掃描;
3.顯微組織及超微尺寸材料分析,如鋼鐵材料中諸如馬氏體、回火索氏體、下貝氏體等顯微組織的觀察分析,納米材料的分析
4.在失效分析中主要用于定位失效點,初步判斷材料成分和異物分析。
主要特點:
1.樣品制備簡單,測試周期短;
2.景深大,有很強的立體感,適于觀察像斷口那樣的粗糙表面;
3.可進行材料表面組織的定性、半定量分析;
4.既保證高電壓下的高分辨率,也可提供低電壓下高質量的圖像;
技術參數:
分 辨 率:高壓模式:3nm,低壓模式:4nm
放大倍數:5~100萬倍
檢測元素:Be4-PU94
最大樣品直徑:200mm
圖象模式:二次電子、背散射
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深圳市美信檢測技術有限公司
曾菲
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