檢測認證人脈交流通訊錄
表面成分分析化學價態異物分析深度刻蝕檢測
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對應法規：根據客戶需要
CNAS認可項目：是
- X射線光電子能譜儀（XPS）
俄歇電子能譜儀（AES）
X射線光電子能譜利用光電效應的原理，測量X射線激發出的光電子能量和計數，對樣品表面幾個納米深度的范圍內進行半定量的成分和化學態分析；俄歇電子能譜利用電子激發出的俄歇電子，對表面進行微區的成分和化學態分析。XPS和AES結合離子濺射還可以對多層膜等樣品進行深度剖析，測得每層的成分、化學態以及相應的厚度。
測試范圍與服務項目：各種固體表面的元素成分、化學價態、分子結構分析和深度剖析等。
掃描電子顯微鏡（SEM）
X射線能譜儀（EDS）
掃描電子顯微鏡利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數進行形貌觀察，最大放大倍數可達30萬倍，同時利用電子激發出樣品表面的特征X射線來對微區的成分進行定性定量分析。
測試范圍與服務項目：各種固體材料的形貌分析、微區化學成分檢測，樣品成分的線分布和面分布分析。
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