SEMI E78-0912 GUIDE TO ASSESS AND CONTROL ELECTROSTATIC DISCHARGE (ESD) AND ELECTROSTATIC ATTRACTION (ESA) FOR EQUIPMENT

1. 靜電產(chǎn)生的主要原因

• 接觸分離
• 摩擦起電
• 感應(yīng)起電

2. 靜電的危害

    靜電具有一定的隱秘性、積累性、復(fù)雜性和隨機(jī)性，當(dāng)靜電現(xiàn)象發(fā)生時(shí)，靜電會(huì)在半導(dǎo)體設(shè)備和器件中隱藏存在，隨著工作時(shí)間的延長(zhǎng)、工作量的增多，靜電量會(huì)越積越多，進(jìn)而加劇灰塵的依附性，長(zhǎng)久以往，會(huì)降低設(shè)備的使用壽命。靜電放電后，會(huì)對(duì)器件產(chǎn)生強(qiáng)烈的電攻擊，被電擊后的器件如果不進(jìn)行及時(shí)的修復(fù)，可能導(dǎo)致器件的永久傷害。

    半導(dǎo)體制造工廠，存在易燃化學(xué)品，靜電放電后，會(huì)導(dǎo)致靜電作為起火源，引起化學(xué)品的燃燒甚至爆炸發(fā)生。

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